微导纳米获得实用新型专利授权：“一种加热腔体及沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种加热腔体及沉积设备”，专利申请号为CN202520524579.5，授权日为2026年1月30日。

专利摘要：本申请公开了一种加热腔体及沉积设备，该加热腔体的内部包括沿竖直方向间隔设置的上加热器、晶圆加热器和下加热器，晶圆加热器靠近晶圆设置并设置于上加热器和下加热器之间；上加热器至少包括独立设置的第一加热部和第二加热部，第一加热部设置于晶圆加热器的正上方，第二加热部相对第一加热部设置并与第一加热部填充加热腔体的顶部区域。本实用新型在多组加热器的基础上，将上加热器完全填充以覆盖加热腔体的顶部区域，而对加热腔体顶部的大部分区域进行加热，同时上加热器细分为至少两个独立的加热部，以对反应区顶部的不同区域进行独立调节，进而提升反应区上方热场的均匀程度。

今年以来微导纳米新获得专利授权11个，较去年同期增加了22.22%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目54次；财产线索方面有商标信息120条，专利信息585条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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