芯丰精密取得晶圆对接检测设备专利,提升对位精度和密封性
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2026-01-30 23:01:00
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国家知识产权局信息显示,宁波芯丰精密科技有限公司取得一项名为“晶圆对接检测设备”的专利,授权公告号CN223859640U,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本实用新型涉及半导体加工技术领域,具体公开了晶圆对接检测设备。该设备包括晶圆环切机台和晶圆检测机台;晶圆环切机台包括对接定位板,对接定位板具有两个插接孔和至少两个对接定位件;晶圆检测机台包括检测机台主体、锁紧单元、固定侧板和两个对位销钉,固定侧板通过锁紧单元可拆卸活动连接检测机台主体,且固定侧板通过锁紧单元选择性锁定于检测机台主体,固定侧板可拆卸连接于对接定位板,固定侧板上设有对接定位孔和两个贯通孔,对接定位孔与对接定位件数量相同且一一对应,对接定位孔与对接定位件间隙配合,对位销钉能穿过贯通孔并插接于插接孔。该设备用以实现晶圆环切机台与晶圆检测机台的牢固对接,提升对位精度和密封性。
天眼查资料显示,宁波芯丰精密科技有限公司,成立于2021年,位于宁波市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本5324.6745万人民币。通过天眼查大数据分析,宁波芯丰精密科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息83条。
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来源:市场资讯